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MEMS气流传感器——助力电子烟产业升级

随着电子烟市场的不断增长和MEMS器件的广泛应用，电子烟核心器件升级加快，电子烟MEMS气流传感器与传统气流开关相比，在保持优良的性能产品和一致性的同时，良率更高；
电子烟高复合增长核心器件亟待升级，MEMS器件带来更优解决方案电子烟工作原理电子烟是利用气流传感器感知人的抽吸动作后，控制放置在烟油中的雾化丝发热，使烟油雾化来模拟真烟体验的电子器件。

气流传感器为电子烟核心零部件之一，目前主流的产品方案为电容式咪头。其工作原理是通过气流引起导电薄膜的形变引发等效电容变化来实现，当变化量达到一定值（触发阈值）时，检测模块才对内部输出吸烟信号，工作原理与电容式麦克风相似。

随着MEMS巨头入局，整机成本进一步下探，行业亟需不依赖人工、一致性、稳定性更好的传感器方案。在这种行业需求的大背景之下，MEMS器件以其优异的性能和生产方式成为电子烟核心器件气流传感器最优升级换代解决方案。
电子烟MEMS气流传感器原理：极板和振膜形成平行板电容器，吸烟时，气流引起振膜弯曲形变，引起电容变化，当电容变化超过阈值时，Out极输出高电平，起到开关作用。
原理图：

MEMS传感器具备传统电容式咪头无可替代的优势：如硅基器件性能稳定，耐高温，MEMS工艺稳定、一致性号，良率高；其次，对于整机组装，MEMS气流传感器形态已经发生了巨大变化，最大的特点是可以采用表贴工艺进行制造，能够承受很高的回流焊温度，容易与其它电路相集成，摆脱人工焊接的限制，极大减少对人工的依赖，从而进一步减少人为因素对制程、良率与生产效率的影响。

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